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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6341040(A) 申请公布日期 1988.02.22
申请号 JP19860185550 申请日期 1986.08.06
申请人 NEC CORP 发明人 TAMAKOSHI AKIRA
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L27/10 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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