发明名称 TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPS6341695(A) 申请公布日期 1988.02.22
申请号 JP19860185497 申请日期 1986.08.07
申请人 SEIKO SEIKI CO LTD 发明人 MIKI MASAHARU
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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