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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM REAKTIVEN AUFDAMPFEN VON METALLVERBINDUNGEN
摘要
申请公布号 DE3627151(A1) 申请公布日期 1988.02.18
申请号 DE19863627151 申请日期 1986.08.11
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 BAUER,VOLKER;FEUERSTEIN,ALBERT,DR.;HARTIG,KLAUS,DR.;KIENEL,GERHARD,DR.;LAEMMERMANN,HELMUTH;ZIRKEL,WOLFGANG
分类号 C23C14/30;C23C14/00;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/06 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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