研磨垫及其微型结构形成方法

摘要

本发明提供一种研磨垫，特别是有关于一种具有弹性微型结构的研磨垫。此研磨垫包含接合面与磨面，接合面用以固接于一研磨装置上，而磨面则用以研磨半导体或其它工件，其中磨面具有弹性微型结构，由此使得磨面可充份贴合于半导体或其它工件表面，以增加磨面与半导体或其它工件所接触的表面积，不但可节省研磨所需的时间，且亦可克服不同待磨物的研磨需求，达成较佳的研磨效果。

主权项

1、一种研磨垫，其包含一接合面与一磨面，该接合面用以固接于一研磨装置上，该磨面用以研磨半导体或其它工件，其特征在于，该磨面具有弹性微型结构，使该磨面充份贴合于该半导体或其它工件表面，增加该磨面与该半导体或其它工件所接触的表面积。