发明名称 MANUFACTURE OF SUBSTRATE FOR FORMING SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6338255(A) 申请公布日期 1988.02.18
申请号 JP19860182260 申请日期 1986.08.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ARIMOTO YOSHIHIRO
分类号 H01L27/00;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/12 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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