发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6338241(A) 申请公布日期 1988.02.18
申请号 JP19860181915 申请日期 1986.08.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWAMOTO YOSHIFUMI;SUDO ITSUKI;IIJIMA SHINPEI
分类号 H01L21/316;H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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