| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR AMORPHOUS SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6338230(A) |
申请公布日期 |
1988.02.18 |
| 申请号 |
JP19860181475 |
申请日期 |
1986.08.01 |
| 申请人 |
MITSUBISHI CHEM IND LTD |
发明人 |
YOSHITOMI TOSHIHIKO;HORIUCHI HIROSHI;SATO YOSHIHARU |
| 分类号 |
H01L31/0248;C23C16/30;C23C16/50;G03G5/08;H01L21/205;H01L31/08 |
主分类号 |
H01L31/0248 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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