发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6338248(A) 申请公布日期 1988.02.18
申请号 JP19860181916 申请日期 1986.08.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIOKA TAIJO;JINRIKI HIROSHI;SAKUMA NORIYUKI;MUKAI KIICHIRO
分类号 H01L21/314;H01G4/005;H01G4/33;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/108;H01L29/94 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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