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发明名称 PIEZOELEKTRISCHE FEINPOSITIONIERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3622557(A1) 申请公布日期 1988.02.18
申请号 DE19863622557 申请日期 1986.07.04
申请人 ERNST LEITZ WETZLAR GMBH 发明人 ANDERS,MICHAEL,DIPL.-PHYS.;HEIDEN,CHRISTOPH,DIPL.-PHYS.DR.RER.NAT.
分类号 G01B7/34;H01J37/20;H01L41/04;H01L41/09;(IPC1-7):G05D3/00;G12B5/00;H01L41/08;H01L27/20 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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