多室淀积系统

摘要

一种在一个大真空室内将不同涂层同时淀积到一薄带材上的淀积系统已经公开。该系统具有多个淀积室，在这些淀积室内，当带材自送料辊移至终端的被淀积带材的卷紧辊的过程中被淀积上不同的涂层。大真空室内的各淀积室具有各自的密封，最大限度地防止相邻淀积室中含有各种掺杂物的气体发生反扩散。

主权项

1、一种将不同成份的多层涂膜淀积在基板上的真空淀积设备。该设备包括： 一个能承受相差一个大气压的基本真空室； 几个安装在上述真空室内的淀积室，各喷镀室包括一块底板和几个侧壁构成的一个矩形开口空间，一个与侧壁上沿相吻合的台板，与两对应侧壁相连的框架分别构成一个入口槽和一个出口槽，通过出入口槽，带材可穿入或穿出淀积室； 与真空室相连泵用来将真空室和相应的淀积室抽真空。