发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING DIELECTRIC ISOLATION REGIONS
摘要
申请公布号 EP0245538(A3) 申请公布日期 1988.02.17
申请号 EP19860116670 申请日期 1981.07.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 IWAI, HIROSHI
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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