发明名称 WASHER
摘要
申请公布号 JPS6336884(A) 申请公布日期 1988.02.17
申请号 JP19860178243 申请日期 1986.07.29
申请人 SPEEDFAM CO LTD 发明人 WAKITA TAKASHI
分类号 B08B3/02 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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