发明名称 DEFLECTION SYSTEM FOR CHARGED-PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 EP0041753(B1) 申请公布日期 1988.02.17
申请号 EP19810200580 申请日期 1981.05.29
申请人 PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 BATES, TERENCE
分类号 G21K1/08;(IPC1-7):G21K1/08 主分类号 G21K1/08
代理机构 代理人
主权项
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