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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6335779(A) 申请公布日期 1988.02.16
申请号 JP19860178665 申请日期 1986.07.31
申请人 CANON INC 发明人 ANDO KENJI;SUGATA MASAO;KURIHARA NORIKO;SUGATA HIROYUKI;DEN TORU
分类号 H01L21/205;C23C16/24;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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