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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6334930(A) 申请公布日期 1988.02.15
申请号 JP19860177609 申请日期 1986.07.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOMIYA TARO;HAYASHI YOSHINOBU
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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