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发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPS6334444(A) 申请公布日期 1988.02.15
申请号 JP19860179692 申请日期 1986.07.29
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SHINKAI KEIKO
分类号 F24F7/06;B01D46/42;F24F13/14;H01L21/02 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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