发明名称 INTERFERENCE METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING RELATIVE DISPLACEMENT OF DIFUSIVELY REFLECTING SURFACES
摘要
申请公布号 SU1374042(A1) 申请公布日期 1988.02.15
申请号 SU19864110237 申请日期 1986.06.19
申请人 GORBATENKO BORIS B,SU;KLIMENKO IGOR S,SU;RYABUKHO VLADIMIR P,SU;SURMENKO LEV A,SU 发明人 GORBATENKO BORIS B,SU;KLIMENKO IGOR S,SU;RYABUKHO VLADIMIR P,SU;SURMENKO LEV A,SU
分类号 G01B9/021 主分类号 G01B9/021
代理机构 代理人
主权项
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