| 发明名称 |
DECISION TREE CONSTRUCTION FOR AUTOMATIC CLASSIFICATION OF DEFECTS ON SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
반도체 웨이퍼의 결함들의 자동 분류를 위해 결정 트리를 구성하는 방법 및 시스템이 제공된다. 하나의 방법은 결정 트리의 하나 이상의 플로팅 트리를 변경함으로써 웨이퍼에서 검출된 결함들의 분류를 위한 결정 트리를 생성하는 단계를 포함한다. 상기 하나 이상의 플로팅 트리는 개별 유닛으로서 다루어지는 하위 트리이다. 또한, 방법은 결정 트리를 결함들에 적용함으로써 웨이퍼에서 검출된 결함들을 분류하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160083055(A) |
申请公布日期 |
2016.07.11 |
| 申请号 |
KR20167014743 |
申请日期 |
2014.11.03 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
CHEN CHIEN HUEI ADAM;MAHER CHRISTOPHER;HUET PATRICK;NG TAI KAM;JORDAN JOHN R. III |
| 分类号 |
H01L21/66;G06K9/62;G06T7/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
