| 摘要 |
본 출원은 전자빔 방출장치 내에서 반사되거나 산란되는 전자가 하우징 내에서 재반사되는 것을 차단하여 보다 안정적인 작동이 가능한 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치에 관한 것으로서, 본 출원의 일 실시예에 따르면 전자빔이 가속되는 공간을 형성하고, 타측에 가속된 전자빔이 방출되는 방출구가 형성된 하우징, 상기 하우징 내 일측에 배치되며, 전자를 방출하는 캐소드, 상기 하우징 내에서 상기 캐소드로부터 타측으로 이격되어 위치되며, 상기 캐소드로부터 방출된 전자를 가속하는 애노드 및 상기 하우징 내측에 배치되며, 상기 하우징의 방출구 주위로부터 애노드 측으로 연장되도록 형성되고, 상기 하우징의 방출구 주위에서 반사된 2차전자 및 산란전자가 하우징 내측으로 반사되는 것을 차단하는 반사전자 차단구조체를 포함하는 반사전자 차단구조체가 구비된 전자빔 방출장치가 개시된다. |
