VERFAHREN ZUR MESSUNG DES ELEKTRISCHEN WIDERSTANDES VON UNTER DEM EINFLUSS EINES PLASMAS HERGESTELLTEN, DUENNEN, METALLISCHEN SCHICHTEN WAEHREND IHRER HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号
AT32383(T)
申请公布日期
1988.02.15
申请号
AT19840112822T
申请日期
1984.10.24
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUENCHEN
发明人
HIEBER, KONRAD, DR. RER. NAT.;MAYER, NORBERT, DR. RER. NAT.