发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6333830(A) 申请公布日期 1988.02.13
申请号 JP19860175621 申请日期 1986.07.28
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 KAMIJO HITOSHI;SAKAGAMI TADASHI;HIDAKA TOSHIYUKI;MONMA NOBUO;MONMA MASATO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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