| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING MOLECULAR CRYSTALLINE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6333557(A) |
申请公布日期 |
1988.02.13 |
| 申请号 |
JP19860172902 |
申请日期 |
1986.07.24 |
| 申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
SAKATA JIRO |
| 分类号 |
C23C14/06;B05B5/08;C23C14/04;C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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