| 发明名称 |
SOURCE D'IONS A RESONANCE CYCLOTRONIQUE DES ELECTRONS |
| 摘要 |
<P>SOURCE D'IONS A RESONANCE CYCLOTRONIQUE DES ELECTRONS DANS LAQUELLE UN PLASMA EST CONFINE DANS UNE CONFIGURATION MAGNETIQUE COMPORTANT UN PREMIER GROUPE DE BOBINES 11 ETANT SITUE DANS LE PLAN DEFINI PAR LA FENETRE ETANCHE 13 D'UN INJECTEUR 8 HYPERFREQUENCE ET ENTOURANT CELUI-CI, FOURNISSANT LE CHAMP MAGNETIQUE CREANT ET CONFINANT UN PLASMA 10 ET UN DEUXIEME GROUPE DE BOBINES 12 ETANT ALIMENTE EN CONTRE-CHAMP PAR RAPPORT AU PREMIER GROUPE, ENTOURANT UN SYSTEME D'EXTRACTION 14 DES IONS. L'EXTRACTION DES IONS EST EFFECTUEE DANS UN CHAMP MAGNETIQUE NETTEMENT INFERIEUR A CELUI CORRESPONDANT A LA RESONANCE CYCLOTRONIQUE. LADITE SOURCE D'IONS TROUVE DE NOMBREUSES APPLICATIONS DANS LES DOMAINES "SPUTTERING" DES COUCHES MINCES, MICRO-GRAVURE, IMPLANTATION IONIQUE, ACCELERATEURS, ETC.</P>
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| 申请公布号 |
FR2546358(A1) |
申请公布日期 |
1984.11.23 |
| 申请号 |
FR19830008401 |
申请日期 |
1983.05.20 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MARC DELAUNAY, RENE GUALANDRIS, RICHARD GELLER, CLAUDE JACQUOT, PAUL LUDWIG, JEAN-MARC MATHONNET, JEAN-CLAUDE ROCCO, PIERRE SERMET, ZADWORNY ET FRANCOIS BOURG;GUALANDRIS RENE;GELLER RICHARD;JACQUOT CLAUDE;LUDWIG PAUL;MATHONNET JEAN-MARC;ROCCO JEAN-CLAUDE;SERMET PIERRE;ZADWORNY;BOURG FRANCOIS |
| 分类号 |
H01J37/08;H01J27/02;H01J27/18;H05H7/08;(IPC1-7):H05H1/18;H01H13/00 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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