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发明名称 CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6333567(A) 申请公布日期 1988.02.13
申请号 JP19860176227 申请日期 1986.07.26
申请人 ULVAC CORP 发明人 NAKAYAMA IZUMI;SUZUKI AKITOSHI;NAWA HIROYUKI;KANEKO TOMOHIKO;KUSUMOTO TOSHIO;TAKAKUWA KAZUO;IKUTA TETSUYA
分类号 H01L21/285;C23C16/04;C23C16/08;C23C16/48;H01L21/3205 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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