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发明名称 LOW PRESSURE OXIDIZING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6333826(A) 申请公布日期 1988.02.13
申请号 JP19860175652 申请日期 1986.07.28
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO COMPUT ENG CORP 发明人 MIKATA YUICHI;OGINO MASANOBU;ISHIHARA KATSUNORI
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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