| 发明名称 |
MASK DEVICE FOR PRODUCING THIN FILM RECORDING MEDIUM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6333555(A) |
申请公布日期 |
1988.02.13 |
| 申请号 |
JP19860174991 |
申请日期 |
1986.07.25 |
| 申请人 |
ANELVA CORP;SONY CORP |
发明人 |
DOI YUICHIRO;YOSHIMURA HIROSHI;NANBU TETSUO;HIROTA YOSHIHIRO;NAKAMURA KAZUO |
| 分类号 |
C23C14/04;G11B5/85;G11B7/26;G11B11/10;G11B11/105 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
