发明名称 PLASMA VAPOR REACTOR
摘要
申请公布号 JPS6333572(A) 申请公布日期 1988.02.13
申请号 JP19860173834 申请日期 1986.07.25
申请人 NATL RES INST FOR METALS 发明人 NAKATANI ISAO;FURUBAYASHI TAKAO
分类号 H01L21/205;C23C16/08;C23C16/16;C23C16/18;C23C16/22;C23C16/34;C23C16/50;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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