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发明名称 ION-IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6332850(A) 申请公布日期 1988.02.12
申请号 JP19860174862 申请日期 1986.07.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAYAMA AKIO;MIYATA KAZUAKI;OKABE TAKASHI;WAKE SETSUO;MATSUDA SHINTARO;YAMAMOTO HIROHISA
分类号 H01L21/265;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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