| 发明名称 |
APPARATUS FOR FORMING OXIDE FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6332929(A) |
申请公布日期 |
1988.02.12 |
| 申请号 |
JP19860175148 |
申请日期 |
1986.07.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
MATSUMURA KIMIHARU;SHIGAKI KEISUKE;SAKAI HIROYUKI;SATO TAKAZO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
