DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN GAZ POUR APPAREIL DE GRAVURE PAR IONS REACTIFS,申请号FR19840017313-传众专利搜索

发明名称	DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN GAZ POUR APPAREIL DE GRAVURE PAR IONS REACTIFS
摘要
申请公布号	FR2557824(B1)	申请公布日期	1988.02.12
申请号	FR19840017313	申请日期	1984.11.13
申请人	GCA CORP	发明人	FRANK JOSEPH WALTON
分类号	C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B23K15/00;H01L21/263;H01L21/306	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
地址