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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6321560(U) 申请公布日期 1988.02.12
申请号 JP19860112718U 申请日期 1986.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B24B37/015;B24B57/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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