发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING CHROMIUM FILM
摘要
申请公布号 JPS6332934(A) 申请公布日期 1988.02.12
申请号 JP19860175082 申请日期 1986.07.25
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 KYOZUKA SHINYA
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址
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