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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6320428(U) 申请公布日期 1988.02.10
申请号 JP19860113383U 申请日期 1986.07.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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