| 发明名称 |
MANUFACTURE OF III-V SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6331171(A) |
申请公布日期 |
1988.02.09 |
| 申请号 |
JP19860173730 |
申请日期 |
1986.07.25 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIMADA CHO;AKIYAMA TATSUO;ETSUNO YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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