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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6331125(A) 申请公布日期 1988.02.09
申请号 JP19860173939 申请日期 1986.07.25
申请人 TOSHIBA COMPONENTS KK 发明人 MORIMIYA TASUKU;YAMAMURO KAZUO
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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