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发明名称 CHARACTERISTIC CLASSIFIER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6330772(A) 申请公布日期 1988.02.09
申请号 JP19860175006 申请日期 1986.07.24
申请人 NEC CORP 发明人 TAKEI TERUMUNE
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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