发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6329933(A) 申请公布日期 1988.02.08
申请号 JP19860174034 申请日期 1986.07.24
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 KURITA HIROYUKI;KOBAYASHI TOYOJI
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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