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发明名称 CUTTING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6330208(A) 申请公布日期 1988.02.08
申请号 JP19860173654 申请日期 1986.07.25
申请人 HITACHI SEIKO LTD 发明人 NAKAJIMA SEIJI
分类号 H01L21/304;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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