发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6329542(A) 申请公布日期 1988.02.08
申请号 JP19860171591 申请日期 1986.07.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI CHIKASHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址