| 发明名称 |
FINE ADJUSTMENT METHOD AND APPARATUS FOR OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6329815(A) |
申请公布日期 |
1988.02.08 |
| 申请号 |
JP19870173737 |
申请日期 |
1987.07.10 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
WARUTAA FURIYUU;HANSUYURUGEN SHIYUNORENBERUKU |
| 分类号 |
G05D3/12;H05K3/00;H05K13/04 |
主分类号 |
G05D3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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