SEMICONDUCTOR MANUFACTURE APPARATUS,申请号JP19860171662-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURE APPARATUS
摘要
申请公布号	JPS6329523(A)	申请公布日期	1988.02.08
申请号	JP19860171662	申请日期	1986.07.23
申请人	HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD	发明人	SATO AKIHIKO;HARA SHIGEO;TOMIYAMA SHIGEO
分类号	H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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