发明名称 FEEDING STRUCTURE FOR LOW-TEMPERATURE PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6327537(A) 申请公布日期 1988.02.05
申请号 JP19860169433 申请日期 1986.07.18
申请人 UNITIKA LTD;SANDO IRON WORKS CO LTD 发明人 GOTO TOKUKI;SANTO YOSHIKAZU;ISHIDOSHIRO HIROSHI
分类号 C08J7/00;B01J19/08;D06B19/00 主分类号 C08J7/00
代理机构 代理人
主权项
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