发明名称 REDUCTION STEPPER
摘要
申请公布号 JPS6327015(A) 申请公布日期 1988.02.04
申请号 JP19860170240 申请日期 1986.07.18
申请人 NEC CORP 发明人 FUJIWARA MAKOTO
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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