| 发明名称 |
INSPECTION DEVICE FOR PACKAGING COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6326510(A) |
申请公布日期 |
1988.02.04 |
| 申请号 |
JP19860169035 |
申请日期 |
1986.07.19 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KAKIGI GIICHI;OKA KOJI;IWATA SATOSHI;MITA KIKUO;ANDO MORITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/24;H05K13/08 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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