| 发明名称 |
FOREIGN MATTER INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6326559(A) |
申请公布日期 |
1988.02.04 |
| 申请号 |
JP19860169701 |
申请日期 |
1986.07.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOIZUMI MITSUYOSHI;OSHIMA YOSHIMASA |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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