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发明名称 SENSOR
摘要
申请公布号 DE3724966(A1) 申请公布日期 1988.02.04
申请号 DE19873724966 申请日期 1987.07.28
申请人 SHARP K.K. 发明人 SUGIHARA,TAKASHI;UDA,KAZUTAKA;TABUCHI,HIROKI;INAMI,YASUHIKO;HIJIKIGAWA,MASAYA;KATAOKA,SHOEI
分类号 G01N27/12;G01N33/00;(IPC1-7):G01N27/04;H01L23/48;G01N27/22 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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