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发明名称 INSPECTION DEVICE FOR FLATNESS OF LEAD
摘要
申请公布号 JPS6325940(A) 申请公布日期 1988.02.03
申请号 JP19860167911 申请日期 1986.07.18
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 OSHINO TOSHIKAZU;KURATOMI BUNJI;MOMOTA MITSUHIRO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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