发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6325947(A) 申请公布日期 1988.02.03
申请号 JP19860169245 申请日期 1986.07.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ITO TAKAO
分类号 H01L21/76;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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