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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6325950(A) 申请公布日期 1988.02.03
申请号 JP19860169108 申请日期 1986.07.17
申请人 NEC CORP 发明人 TOSAKA ASAMITSU;SHINGUU ZENZO
分类号 H01L21/28;C23C18/31;H01L21/3205 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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