| 发明名称 | 耐热感光耐蚀膜 | ||
| 摘要 | 一种耐热的感光耐蚀膜，它包括以下主要组分： (a)一种由下式所代表的重复单元所组成的聚合物，式中X为四价C<sub>6_30</sub>碳环基或杂环基；Y为二价C<sub>6_30</sub>碳环基或杂环基；Z为<img file="87104996_ab_0.GIF" wi="144" he="50" /><img file="87104996_ab_1.GIF" wi="130" he="55" />或<img file="87104996_ab_2.GIF" wi="171" he="56" />；A为-COOR或-COO<sup></sup>R′<sup></sup>其中R和R′各含一活性C＝C键的化合物；A在Z的邻住或迫位。该聚合物在热处理时能转变为热分解温度至少为350℃、玻璃化转变温度至多达350℃的聚合物； (b)一种含一活性C＝C键的化合物；和 (c)一种光聚合引发剂。 | ||
| 申请公布号 | CN87104996A | 申请公布日期 | 1988.02.03 |
| 申请号 | CN87104996 | 申请日期 | 1987.07.22 |
| 申请人 | 旭化成工业株式会社 | 发明人 | 爱英夫;池田章彦;横田完一 |
| 分类号 | C08G73/10;G03C1/70 | 主分类号 | C08G73/10 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人 | 樊眠;穆德俊 |
| 主权项 | 1、一种耐热的感光耐蚀膜，它包括以下主要组分： (a)一种由下式所代表的重复单元所组成的聚合物， <img file="87104996_IMG4.GIF" wi="933" he="150" />式中 X为四价C<sub>6-30</sub>碳环基或杂环基； Y为二价C<sub>6-30</sub>碳环基或杂环基； Z为<img file="87104996_IMG5.GIF" wi="1342" he="276" />A为-COOR或<img file="87104996_IMG6.GIF" wi="324" he="94" />，其中R和R′各为含一活性C=C键的化合物；A在Z的邻住或迫位。 该聚合物在热处理时能转变为热分解温度至少为350℃、玻璃化转变温度至多达350℃的聚合物； (b)一种含活性C=C键的化合物；和 (c)一种光聚合引发剂。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||